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Project News / 项目新闻

中电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台顺利验收

发布时间:2020-12-31 11:58:36 来源:麓谷建工点击率:

2020年12月30日,由麓谷建工承建的中电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台(以下简称验证平台)顺利通过五方责任主体验收,为公司今年的项目收官画上了圆满的句号,该验证平台立足高新,将创造高新。

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中电科项目位于高新区麓延路西路北侧、雷高路东侧,总建筑面积12.7万平方米,总投资25亿元,该项目是国内第一条集成电路装备验证工艺线,其建成将有效推进高新区集成电路产业的快速发展,促进该领域关键核心技术自主可控发展。

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2019年4月,该项目验证平台正式启动建设,在集团上下统筹调度下,麓谷建工迅速铺排行动,精心组织实施,不到半年,保质保量完成主体结构封顶。今年4月实现了首台国产设备移入;11月,集成电路成套装备开始联调联试,目前试验生产的晶圆良率已达90%。

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验证平台在施工过程中,通过采用多项新技术、新材料、新工艺等,克服了众多技术难点并实现了降本增效。如:华夫板施工层模板支架大胆采用了成熟的轮扣式支架系统,模板主次楞骨改用镀锌矩管,通过对U型顶托的反复调整,使华夫板施工效果达到了平整度不大于3mm的要求,节约了专用型钢100余吨。

麓谷建工将不断总结技术创新和组织协同经验,以创新求突破,为今后的发展提供有力支撑。


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