近日,麓谷集团下属麓谷投发参投企业中电科第三代半导体技术创新(湖南)有限公司(以下简称“中电科三代半(湖南)公司”)传出喜讯,该企业在超宽禁带半导体装备关键技术领域取得重大突破,成功研制出大功率金刚石MPCVD首台样机,并进入用户应用验证阶段。

据了解,中电科三代半(湖南)公司依托国家第三代半导体技术创新中心(湖南)平台优势,充分发挥自身技术体系与产业资源优势,聚力攻关,快速突破了大面积高均匀等离子体场构建、高功率高稳定微波传输与耦合、大尺寸金刚石晶圆生长与应力控制等核心关键技术,自主研制出大功率金刚石MPCVD装备样机,为后续技术迭代和产业化推进奠定了坚实基础。此次重大技术突破,充分展现其较强的自主创新能力和技术攻关实力,也体现了以麓谷资本(麓谷投发)为龙头的集团投资板块,聚焦主责主业,前瞻布局第三代半导体等战略性新兴产业取得的积极成效。
作为湖南湘江新区重要的产业投资平台,麓谷资本(麓谷投发)始终坚定围绕新区产业发展方向,聚焦先进制造、新一代信息技术、生物医药、新材料等重点领域,积极发挥国有资本引导带动作用,支持新区企业加快关键核心技术攻关,先后参投天氟新材、航天环宇、晶易医药、明康中锦、驰芯半导体等新区企业。下一步,公司将继续立足产业投资和资本赋能功能定位,持续关注和支持被投企业创新发展,助力企业加快推动技术成果转化和产业化应用,为新区加快构建现代化产业体系、推动高质量发展贡献更大力量。
信息来源:中国电科第四十八研究所
供稿:谭哲
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